四點探針法是將四個針狀電極沿直線放置在樣品上，如下圖使用四點探針測量

接下來，將獲得的電阻（R，單位：Ω）乘以樣品厚度t（cm）和校正因子RCF（電阻率校正因子）來計算體積電阻率。這樣，四探針和四端子法共用相同的測量系統，僅與樣品接觸的電極部分不同。